1、确定工作真空范围
首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。
2、确定---真空度
在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的---真空度，因为系统的---真空度决定了系统的工作真空度。一般来讲，系统的---真空度比系统的工作真空度低20%，贝克真空泵公司，比前级泵的---真空度低50%。
3、被抽气体种类与抽气量
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
4、真空容积
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。
考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
5、真空泵计算公式
s=2.303v/tlog(p1/p2)
其中：
s为真空泵抽气速率(l/s)
v为真空室容积（l）
t为达到要求真空度所需时间(s)
p1为初始真空度(torr)
p2为要求真空度(torr)
1)首先，真空泵的结构须适合于使用条件。如一般的真空泵不能用于抽有腐触性的气休;有润滑油的真空泵不能用于与油起化学反应的气体。
2)真空泵的真空度必须能满足工艺条件所需的真空度。例如，钢水处理需要在0.1~20毫米柱真空度下进行，合金钢冶炼需要在10-1~10-3毫米柱下进行。
3)所选用的真空泵必须有足够大的抽气速率，---能在规定时间内把工艺过程中所产生的气体抽走。
4)真空泵的连续工作时间必须满足一个工艺循环的要求。
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