---质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件,不同型号的---质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。
1、检漏阀:接在质谱室和被检件之间的管道上。有些---质谱检漏仪采用节流阀,国产---质谱检漏设备生产厂家,控制流入质谱室的气体流量。
2、真空规:一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规,又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
3、标准漏孔:一般---质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗---型),用它来校准---质谱检漏仪的z小可检漏率和对---质谱检漏仪输出指示进行定标。
---质谱检漏仪是一种精度---的---机查漏仪器,具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境)、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。泄漏和密封相对应,很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,pvd,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,---质谱检漏设备生产厂家,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果---,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
正常运行时,空气经过漏点被吸入凝汽器后被真空泵抽出,正压---质谱检漏设备生产厂家,排至---。试验时在真空泵入口的空气管上接一根软管至---质谱检漏仪,在真空系统的漏点处喷---气,由于---质谱检漏仪工作时能形成比水环式真空泵更高的真空,因此,漏入真空泵入口管上---气与空气的混合元体,有一部分被吸入到---质谱检漏仪,由于---分子与其他分子不一样,通过磁场产生的偏转磁力不一样,正压---质谱检漏设备生产厂家,---质谱检漏仪上设计有一狭缝,刚好使---分子通过而其他分子无法通过,这样,通过狭缝后的---分子打在收集板上,通过靶板计数,即可知道通过的分子数泄漏量的相对大小。
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