华诚浩达真空设备-正压---质谱真空检漏仪

---质谱检漏仪的真空系统

---质谱检漏仪真空系统一般包括：

1、主泵：一般用护散泵或涡轮分子泵。---压力小于5×10-4pa，其抽速应导气载匹配。

2、前级真空泵：一般采用旋片式机械真空泵，在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。---压力小于1×10-1pa，四川---质谱真空检漏仪，抽速导主泵匹配。

3、预抽真空泵：一般与前级真空泵共用一个泵，正压---质谱真空检漏仪，也有---预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。

4、冷阱：分子泵型真空系统一般不加冷阱。护散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间，使三者被冷阱隔离。冷阱加入液---(-196℃)后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室，保持质谱室的清洁，并帮助扩散泵迅速获得较高真空。

---质谱检漏仪特点

1，---的气路设计，提高了对---的抽速，正压---质谱真空检漏仪，缩短了清---本底时间，有效防止---污染。2，检漏口配备：定制精密过滤装置，可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3，多模式功能输入、输出，轻松连接各种自动化设备。4，机械与电路有效分开，避免了温度、电磁场等彼此干扰，使检漏仪运行稳定、---。5，可检漏率低，灵敏度高，检测量程达到11级。